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Linea di sputter a magnetron DC multicamera progettata per la
deposizione di film sottile roll-to-roll, composta da: 6x camera di
processo magnetron DC tipo RDM 1800 L (2009), 2x camera intermedia, 1x
camera di raffreddamento, 1x camera di riavvolgimento, 1 sala di
riavvolgimento, 21x pompa turbomolecolare \"Pfeiffer\" tipo HiPace
2300 U (2009), in parte con controller integrato tipo TC 1200, 2x
unità di controllo della temperatura \"Single\" (2009), 6x
generatore HF \"Trumpf\" tipo TruPlasma DC 3040, 1x cabina di
interruttore di alimentazione principale, 2x scambiatore di calore
tipo \"Seifert\" RK-2114 AM (2009), 1x unità di raffreddamento
\"Carrier\" (esterna) tipo 3ORBO0342 R14A (2009), 2x unità vacuum
\"Leybold\" SV630 B (2009) e 1x unità vacuum \"Leybold\" tipo D40 B e
1x tipo SV630 B (2009) in involucri insonorizzati, vari elementi di
trasporto utilitari, Superficie utilizzata circa 27,500x12,500mm
Auction-ID: A1-43459-1
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Linea di sputter a magnetron DC multicamera progettata per la
deposizione di film sottile roll-to-roll, composta da: 6x camera di
processo magnetron DC tipo RDM 1800 L (2009), 2x camera intermedia, 1x
camera di raffreddamento, 1x camera di riavvolgimento, 1 sala di
riavvolgimento, 21x pompa turbomolecolare \"Pfeiffer\" tipo HiPace
2300 U (2009), in parte con controller integrato tipo TC 1200, 2x
unità di controllo della temperatura \"Single\" (2009), 6x
generatore HF \"Trumpf\" tipo TruPlasma DC 3040, 1x cabina di
interruttore di alimentazione principale, 2x scambiatore di calore
tipo \"Seifert\" RK-2114 AM (2009), 1x unità di raffreddamento
\"Carrier\" (esterna) tipo 3ORBO0342 R14A (2009), 2x unità vacuum
\"Leybold\" SV630 B (2009) e 1x unità vacuum \"Leybold\" tipo D40 B e
1x tipo SV630 B (2009) in involucri insonorizzati, vari elementi di
trasporto utilitari, Superficie utilizzata circa 27,500x12,500mm
Auction-ID: A1-43459-1 seller offer No. resale
0521f01c-a71a-493d-9f4a-40dd5260cc5a
