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Ligne de pulvérisation multichambre à magnétron DC conçue pour le
dépôt de couches minces rouleau-vers-rouleau, comprenant : 6x
chambre de procédé magnétron DC type RDM 1800 L (2009), 2x chambre
intermédiaire, 1x chambre de refroidissement, 1x chambre de
rembobinage, 1 salle de déroulement, 21x pompe turbomoléculaire «
Pfeiffer » de type HiPace 2300 U (2009), partiellement avec
contrôleur intégré type TC 1200, unité de contrôle de
température 2x « Single » (2009), 6x générateur HF « Trumpf »
type TruPlasma DC 3040, 1x meuble d’interrupteur principal, 2x
échangeur de chaleur « Seifert » type RK-2114 AM (2009), 1x unité
de refroidissement « Carrier » (extérieure) type 3ORBO0342 R14A
(2009), 2x unité à vide « Leybold » SV630 B (2009) et 1x unité à
vide « Leybold » type D40 B et 1x type SV630 B (2009) dans enceintes
insonorisées, divers équipements utilitaires de transport, Surface
au sol utilisée d’environ 27,500x12,500 mm Auction-ID:
A1-43459-1
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Ligne de pulvérisation multichambre à magnétron DC conçue pour le
dépôt de couches minces rouleau-vers-rouleau, comprenant : 6x
chambre de procédé magnétron DC type RDM 1800 L (2009), 2x chambre
intermédiaire, 1x chambre de refroidissement, 1x chambre de
rembobinage, 1 salle de déroulement, 21x pompe turbomoléculaire «
Pfeiffer » de type HiPace 2300 U (2009), partiellement avec
contrôleur intégré type TC 1200, unité de contrôle de
température 2x « Single » (2009), 6x générateur HF « Trumpf »
type TruPlasma DC 3040, 1x meuble d’interrupteur principal, 2x
échangeur de chaleur « Seifert » type RK-2114 AM (2009), 1x unité
de refroidissement « Carrier » (extérieure) type 3ORBO0342 R14A
(2009), 2x unité à vide « Leybold » SV630 B (2009) et 1x unité à
vide « Leybold » type D40 B et 1x type SV630 B (2009) dans enceintes
insonorisées, divers équipements utilitaires de transport, Surface
au sol utilisée d’environ 27,500x12,500 mm Auction-ID:
A1-43459-1 seller offer No. resale
0521f01c-a71a-493d-9f4a-40dd5260cc5a