Pompa e controller turbomolecolari non presenti!
Componenti del vuoto
2X Leybold Vacuum CTR 90 CERAVAC (1torr e 10torr)
1X VAT 26432-KA41-0001/0319 Valvola
ad angolo di vuoto
1X PFEIFFER IKR 251 CATODO
FREDDO COMPATTO AD ALTO VUOTO
Valvola
HI VAC larga 1X
Attuazione & RF
Sistema di attuazione 1X THC-8AWDS attuatore lineare 400mm
1x Dressler RF - AE Dressler VM 1000 A, 1000 W 13,56 MHz
Unità di controllo ed elettronica
1X magnetron drive ADVANCED ENERGY MDX 500 (non si accende)
Alimentatore
RF 1X Cesar
1X MKS, Tipo 252, 252C-1-VPO, Controller
valvola di scarico
Regolatore
automatico di pressione 1X MKS Tipo 152
Computer rack-mount 1X 19\" (nessuna password per il software di
controllo)
1X Scatole di flusso di massa
Auction-ID: A1-49139-4
