Pompa próżniowa i sterownik turbomolekularnej nie są obecne!
Komponenty próżniowe
2x Leybold Vacuum CTR 90 CERAVAC (1torr i 10torr)
1X VAT 26432-KA41-0001/0319 Zawór
kątowy próżniowy
1X PFEIFFER IKR 251 KOMPAKTOWA KATODA
O WYSOKIEJ PRÓŻNI
Zawór
1X Wide HI VAC
Aktywacja i RF
System siłacji 1X THC-8AWDS Liniowy Siłownik 400mm
1x RF dressler - AE Dressler VM 1000 A, 1000 W 13,56 MHz
Jednostka sterująca i elektronika
Napęd magnetron 1X ADVANCED ENERGY MDX 500 (nie włącza się)
Zasilacz
RF 1X Cesar
1X MKS, typ 252, 252C-1-VPO, sterownik
zaworu wydechowego
1X MKS Type 152 Automatyczny Regulator
Ciśnienia
Komputer rackowy 1x 19\" (brak hasła do oprogramowania
sterującego)
1X skrzynki przepływu masowego
Auction-ID: A1-49139-4
