Виробник: EVG
Модель: Lithoscale
Рік випуску: 2023
Стан Новий-Ніколи не
використовувався
Технічна конфігурація:
• Для безмаскового впливу пластин
розміром до 300 мм
• Високоточний етап, включаючи
безконтактну компенсацію похибки
клина
• Самокалібрування за допомогою
вбудованих датчиків
• Розсувна здатність до двох (2)
експозиційних головок в цілому для
найвищої пропускної здатності
• Окремий блок управління
• Програмне забезпечення EVG CIM U51258834
Framework
• Самодіагностика під час запуску
машини, автоматична ініціалізація
всіх двигунів, кінцевих перемикачів
положення, датчиків і пневматичних
• Інспекція доступна за запитом
• Керований ПК