Système d’exposition sans masque EVG Lithoscale

Fabricant : EVG

Modèle : Lithoscale

Année de fabrication : 2023

État Nouveau-Jamais utilisé

Configuration technique :

• Pour l’exposition sans masque de plaquettes jusqu’à 300 mm

• Platine de haute précision avec compensation d’erreur de coin sans contact

• Auto-étalonnage via des capteurs intégrés

• Extensibilité jusqu’à deux (2) têtes d’exposition au total pour un débit maximal

• Unité de commande séparée

• Logiciel EVG CIM U51258834 Framework

• Autodiagnostic U51258834 lors du démarrage de la machine, initialisation automatique de tous les moteurs, interrupteurs de fin de position, capteurs et

• Inspection disponible sur demande

• Contrôlé par PC
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