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无掩模曝光系统 EVG Lithoscale

电气部件 / 电气部件

生产厂家: EVG

型号:Lithoscale

机械类型: 无掩模曝光系统

产品编号: 168185564

数量: 1

日期： 08.12.2025

生产年份: 2023

设备所在地: Munich, Germany

价格:


Seller-item-No.:8087731

制造商：EVG

型号：Lithoscale

制造年份：2023

条件：全新-从未使用过

技术配置：

• 用于最大 300 mm 晶圆的无掩模曝光

• 高精度载物台，包括非接触式楔形误差补偿

• 通过集成传感器进行自校准

• 总共可扩展多达两 （2） 个曝光头，以实现最高通量

• 独立的控制单元

• EVG CIM U51258834 框架软件

• 机器启动期间的自我诊断，所有电机、位置端开关、 感器和气动的自动初始化

• 可根据要求进行检查

• PC 控制
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制造商：EVG

型号：Lithoscale

制造年份：2023

条件：全新-从未使用过

技术配置：

• 用于最大 300 mm 晶圆的无掩模曝光

• 高精度载物台，包括非接触式楔形误差补偿

• 通过集成传感器进行自校准

• 总共可扩展多达两 （2） 个曝光头，以实现最高通量

• 独立的控制单元

• EVG CIM U51258834 框架软件

• U51258834 机器启动期间的自我诊断，所有电机、位置端开关、 感器和气动的自动初始化

• 可根据要求进行检查

• PC 控制
seller offer No. resale 8087731
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82049 Pullach
Germany

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