Машина для распыления GALACTIC GAVA 500 CAPVD PVD
была построена в 2022 году в Польше. Эта
чрезвычайно технически совершенная
система предназначена для покрытия,
среди прочего, режущих инструментов,
пресс-форм и пуансонов сверхпрочными
покрытиями с высокой стойкостью к
истиранию и химическим веществам.
Используемый метод CAPVD (Cathodic Arc Physical
Vapour Deposition), по сравнению со
стандартными методами PVD, позволяет
получать высокоплотные и адгезивные
покрытия с хорошими скоростями
осаждения и толщиной (± 5 нм).
При этом атомы из источника (катода),
помещенного в рабочую камеру,
испаряются с помощью электрической
дуги. Затем эти атомы переносятся и
осаждаются на поверхности заготовок,
создавая тонкое покрытие.
Распылительная машина GAVA 500 PVD
оснащена всеми необходимыми
компонентами лучших технических
характеристик и соответствует самым
высоким отраслевым стандартам.
Технические характеристики
распылительной машины GALACTIC GAVA 500 CAPVD
PVD
- Контроллер ПЛК: MITSUBISHI A1S1
- типы покрытий: TiN, TiCN,TiAlN, TiAlNEX, CrN, ZrN,
CrAlN, TiSiAlN, AlCrN, ZrO, CrCO
- Размеры вакуумной камеры (Ø x H): ⌀600 x
600 мм
- максимальный вес заготовки: 500 кг
- максимальный вакуум: 5x 6-10 мбар
- Испаритель M51251405 CAPVD (2 шт.)
- Насос Рутса: LEYBOLD 501 S (2 шт.)
- Производительность насоса Рутса: 4040
м3/ч
- Давление насоса Рутса: 3-10 мбар
- турбомолекулярный насос: LEYBOLD MAGiNTEGRA
- Производительность
турбомолекулярного насоса: 2000 л/с
- Давление турбомолекулярного насоса:
6-10 мбар
-компрессор
- охлаждающее устройство (чиллер)
- сателлитные ручки (18 шт.)
- Распределение технологических
газов: массовые расходомеры с
датчиками
- контроль температуры: термопара типа
K
- электропитание машины GALACTIC GAVA 500 CAPVD:
3x 400 В; 50 Гц