GALACTIC GAVA 500 CAPVD PVD 스퍼터링 기계는 2022년
폴란드에서 제작되었습니다. 기술적으로 매우
발전된 이 시스템은 절삭 공구, 금형 및 펀치를 마모
및 화학 물질에 대한 내성이 높은 내구성이 뛰어난
코팅으로 코팅하도록 설계되었습니다. 표준 PVD
방법과 비교하여 사용되는 CAPVD(Cathodic Arc Physical Vapour
Deposition) 방법을 사용하면 우수한 증착 속도와
두께(± 5nm)로 고밀도의 접착력 코팅을 생산할 수
있습니다.
이 과정에서 작업 챔버에 배치된 소스(음극)의
원자는 전기 아크를 사용하여 기화됩니다. 그런 다음
이러한 원자는 공작물 표면으로 전달되고 증착되어
얇은 코팅을 만듭니다. GAVA 500 PVD 스퍼터링 기계는
최고의 기술 사양에 필요한 모든 구성 요소를 갖추고
있으며 최고의 산업 표준을 충족합니다.
GALACTIC GAVA 500 CAPVD PVD 스퍼터링 기계의 기술 사양
- PLC 컨트롤러: 미쓰비시 A1S1
- 코팅 유형: TiN, TiCN, TiAlN, TiAlNEX, CrN, ZrN, CrAlN, TiSiAlN,
AlCrN, ZrO, CrCO
- 진공 챔버 치수(직경 x H): ⌀600 x 600 mm
- 최대 공작물 무게: 500 kg
- M51251405 최대 진공: 5x 6-10 mbar
- CAPVD 증발기(2개)
- 루츠 펌프: LEYBOLD 501 S(2개)
- 루츠 펌프 용량 : 4040 m3 / h
- 루츠 펌프 압력: 3-10mbar
- 터보 분자 펌프: LEYBOLD MAGiNTEGRA
- 터보 분자 펌프 용량: 2000 l/s
- 터보 분자 펌프 압력: 6-10mbar
-압축기
- 냉각 장치 (냉각기)
- 위성 그립(18개)
- 공정 가스 분배: 센서가 있는 질량 유량계
- 온도 제어 : K 형 열전대
- GALACTIC GAVA 500 CAPVD 기계의 전원 공급 장치: 3x 400V; 50
Hz에서
폴란드
