Wielokomorowa linia tryskowa magnetronu DC zaprojektowana do
nanosienia cienkich warstw z rolki na rolkę, składająca się z: 6x
komory procesowej DC magnetronu typu RDM 1800 L (2009), 2x komory
pośredniej, 1x komory chłodzącej, 1x komory przewijania, 1
pomieszczenia odwijania, 21x pompy turbomolekularnej typu \"Pfeiffer\"
HiPace 2300 U (2009), częściowo z wbudowanym sterownikiem typu TC
1200, 2x \"Single\" jednostki kontroli temperatury (2009). 6x
\"Trumpf\" generator HF typu TruPlasma DC 3040, 1x szafa wyłącznika
zasilania, 2x wymiennik ciepła \"Seifert\" typu RK-2114 AM (2009), 1x
jednostka chłodzenia \"Carrier\" (na zewnątrz) typ 3ORBO0342 czynnik
chłodniczy R14A (2009), 2x jednostka odkurzająca \"Leybold\" SV630 B
(2009) oraz 1x \"Leybold\" jednostka odkurzająca typu D40 B oraz 1x
typ SV630 B (2009) w dźwiękoszczelnych obudowach, różne elementy
transportowe, Użytkowana powierzchnia podłogi około
27,500x12,500mm
Auction-ID: A1-43459-1
