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마스크리스 노출 시스템 EVG Lithoscale

전기 부품 / 전기 부품

생산자: EVG

모델:Lithoscale

기계의 유형: 마스크리스 노출 시스템

품목 아니오.: 168185564

양: 1

날짜: 08.12.2025

제조 연도: 2023

위치: Munich, Germany

값:


Seller-item-No.:8087731

제조사: EVG

모델: 리소스케일

제조 연도: 2023

상태 새 - 사용하지 않음

기술 구성:

• 최대 300 mm의 웨이퍼 크기의 마스크리스 노출용

• 비접촉식 쐐기 오류 보상을 포함한 고정밀 스테이지

• 통합 센서를 통한 자체 교정

• 최대 처리량을 위해 총 최대 2개의 노출 헤드까지 확장성

• 별도의 제어 장치

• EVG CIM U51258834 프레임워크 소프트웨어

• 기계 시동 중 자가 진단, 모든 모터의 자동 초기화, 위치 끝 스위치, 센서 및 공압

• 요청 시 검사 가능

• PC 제어
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제조사: EVG

모델: 리소스케일

제조 연도: 2023

상태 새 - 사용하지 않음

기술 구성:

• 최대 300 mm의 웨이퍼 크기의 마스크리스 노출용

• 비접촉식 쐐기 오류 보상을 포함한 고정밀 스테이지

• 통합 센서를 통한 자체 교정

• 최대 처리량을 위해 총 최대 2개의 노출 헤드까지 확장성

• 별도의 제어 장치

• EVG CIM U51258834 프레임워크 U51258834 소프트웨어

• 기계 시동 중 자가 진단, 모든 모터의 자동 초기화, 위치 끝 스위치, 센서 및 공압

• 요청 시 검사 가능

• PC 제어
seller offer No. resale 8087731
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UCY Industrial GmbH

Mr Nick Breinfalk
82049 Pullach
Germany

RESALE 구성원 이래 2024


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