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マスクレス露光システム EVG Lithoscale

電気部品 / 電気部品

生産者： EVG

モデル：Lithoscale

機械のタイプ: マスクレス露光システム

アイテム番号: 168185564

量： 1

日付： 08.12.2025

製造年: 2023

場所： Munich, Germany

価格：


Seller-item-No.:8087731

メーカー: EVG

モデル: リソスケール

製造年: 2023

状態 新品 - 未使用品

技術構成:

- 最大300mmのウェーハサイズのマスクレス露光用

- 非接触ウェッジ誤差補正を含む高精度ステージ

- 内蔵センサーによる自己校正

- 合計で最大2つの露光ヘッドまで拡張可能で、最高の スループットを実現

- 独立したコントロールユニット

• EVG CIM U51258834 フレームワークソフトウェア

- 機械起動時の自己診断、すべてのモーターの自動初 化、ポジションエンドスイッチ、センサー、空気

- ご要望に応じて検査も可能

- PC制御
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メーカー: EVG

モデル: リソスケール

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- 最大300mmのウェーハサイズのマスクレス露光用

- 非接触ウェッジ誤差補正を含む高精度ステージ

- 内蔵センサーによる自己校正

- 合計で最大2つの露光ヘッドまで拡張可能で、最高の スループットを実現

- 独立したコントロールユニット

• EVG CIM U51258834 フレームワークソフトウェア

- U51258834 機械起動時の自己診断、すべてのモーターの自動初 化、ポジションエンドスイッチ、センサー、空気

- ご要望に応じて検査も可能

- PC制御
seller offer No. resale 8087731
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UCY Industrial GmbH

Mr Nick Breinfalk
82049 Pullach
Germany

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