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EVG Lithoscale 마스크리스 노출 시스템
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기술 데이터
· ID 168185564기계
- 제조 연도
- 2023
- 위치
- Munich, Germany
Identifikation
제조사EVG
모델Lithoscale
품목 번호8087731
Technik
수량1
설명
제조사: EVG
모델: 리소스케일
제조 연도: 2023
상태 새 - 사용하지 않음
기술 구성:
• 최대 300 mm의 웨이퍼 크기의 마스크리스 노출용
• 비접촉식 쐐기 오류 보상을 포함한 고정밀 스테이지
• 통합 센서를 통한 자체 교정
• 최대 처리량을 위해 총 최대 2개의 노출 헤드까지 확장성
• 별도의 제어 장치
• EVG CIM 프레임워크 소프트웨어
• 기계 시동 중 자가 진단, 모든 모터의 자동 초기화, 위치 끝 스위치, 센서 및 공압
• 요청 시 검사 가능
• PC 제어
모델: 리소스케일
제조 연도: 2023
상태 새 - 사용하지 않음
기술 구성:
• 최대 300 mm의 웨이퍼 크기의 마스크리스 노출용
• 비접촉식 쐐기 오류 보상을 포함한 고정밀 스테이지
• 통합 센서를 통한 자체 교정
• 최대 처리량을 위해 총 최대 2개의 노출 헤드까지 확장성
• 별도의 제어 장치
• EVG CIM 프레임워크 소프트웨어
• 기계 시동 중 자가 진단, 모든 모터의 자동 초기화, 위치 끝 스위치, 센서 및 공압
• 요청 시 검사 가능
• PC 제어
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