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EVG Lithoscale マスクレス露光システム
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技術データ
· ID 168185564機械
- 製造年
- 2023
- 所在地
- Munich, Germany
Identifikation
メーカーEVG
型式Lithoscale
管理番号8087731
Technik
数量1
説明
メーカー: EVG
モデル: リソスケール
製造年: 2023
状態 新品 - 未使用品
技術構成:
- 最大300mmのウェーハサイズのマスクレス露光用
- 非接触ウェッジ誤差補正を含む高精度ステージ
- 内蔵センサーによる自己校正
- 合計で最大2つの露光ヘッドまで拡張可能で、最高のスループットを実現
- 独立したコントロールユニット
• EVG CIM フレームワークソフトウェア
- 機械起動時の自己診断、すべてのモーターの自動初期化、ポジションエンドスイッチ、センサー、空気圧
- ご要望に応じて検査も可能
- PC制御
モデル: リソスケール
製造年: 2023
状態 新品 - 未使用品
技術構成:
- 最大300mmのウェーハサイズのマスクレス露光用
- 非接触ウェッジ誤差補正を含む高精度ステージ
- 内蔵センサーによる自己校正
- 合計で最大2つの露光ヘッドまで拡張可能で、最高のスループットを実現
- 独立したコントロールユニット
• EVG CIM フレームワークソフトウェア
- 機械起動時の自己診断、すべてのモーターの自動初期化、ポジションエンドスイッチ、センサー、空気圧
- ご要望に応じて検査も可能
- PC制御
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