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EVG Lithoscale 无掩模曝光系统
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技术参数
· ID 168185564设备
- 出厂年份
- 2023
- 所在地
- Munich, Germany
Identifikation
制造商EVG
型号Lithoscale
物品编号8087731
Technik
数量1
描述
制造商：EVG
型号：Lithoscale
制造年份：2023
条件：全新-从未使用过
技术配置：
• 用于最大 300 mm 晶圆的无掩模曝光
• 高精度载物台，包括非接触式楔形误差补偿
• 通过集成传感器进行自校准
• 总共可扩展多达两 （2） 个曝光头，以实现最高通量
• 独立的控制单元
• EVG CIM 框架软件
• 机器启动期间的自我诊断，所有电机、位置端开关、传感器和气动的自动初始化
• 可根据要求进行检查
• PC 控制
型号：Lithoscale
制造年份：2023
条件：全新-从未使用过
技术配置：
• 用于最大 300 mm 晶圆的无掩模曝光
• 高精度载物台，包括非接触式楔形误差补偿
• 通过集成传感器进行自校准
• 总共可扩展多达两 （2） 个曝光头，以实现最高通量
• 独立的控制单元
• EVG CIM 框架软件
• 机器启动期间的自我诊断，所有电机、位置端开关、传感器和气动的自动初始化
• 可根据要求进行检查
• PC 控制
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