Нові потужні насоси сухого ходу:
Серія ADH спеціально розроблена для
сонячної енергії
розроблений для вимогливих процесів
ринків напівпровідників і
світлодіодів,
З продуктивністю всмоктування 600-4500
м3/год.
Напівпровідники: висока швидкість
накачування H2
Продуктивність серії ADH приносить в
процес наступні переваги:
-Продуктивність процесу ADL: висока
ефективність перекачування легких
газів
забезпечує більш швидке спорожнення
камери між етапами процесу
- Епітаксія та EUV: висока швидкість
перекачування та висока швидкість
потоку
Допуск відповідає найвимогливішим
технічним характеристикам процесу
Сухий насос Adixen AD30K, високий вакуум, AD 30
KL
Виробник: Alcatel Adixen
Тип: AD30K. H
Рік випуску: 2008
Adixen AD100K. H
Виробник: Alcatel Adixen
Тип: AD100K. H
Рік випуску: 2008
Вакуумний насос:
Виробник: AERZEN
Тип: GM 2000 CM-C
Швидкість: 6000 об/хв
Напруга: 200-460 В
Частота (мінеральна олія/олія PFPE): 100
c/s
Максимальна продуктивність
всмоктування: 4035 м3/год
Максимальна швидкість: 5920 C6149119 об/хв
Потужність двигуна S 1 / S 6: 9/5,6 кВт
Рік випуску: 2008
Вага: 345 кг
Сухий насос:
Виробник: Adixen
Тип: BF ADP122
Рік випуску: 2008
Потужність 1,5 кВт
Максимальна продуктивність
всмоктування: 95 м3/год
Максимальний постійний тиск на вході:
50 мбар
Максимальний тиск вихлопу: 1200 мбар
Охолоджувальна вода: 60 л/год
Частота обертання (насос): 3000-3600 об/хв
Робоча температура насоса: від 5 С до 40
С
Вхідний фланець: DN 50 ISO-KF
Випускний фланець: DN 40
Угорщина
2890 Tata 
