Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h. Турбонасос сухого вакууму

Нові потужні насоси сухого ходу:
Серія ADH спеціально розроблена для сонячної енергії
розроблений для вимогливих процесів ринків напівпровідників і світлодіодів,
З продуктивністю всмоктування 600-4500 м3/год.

Напівпровідники: висока швидкість накачування H2
Продуктивність серії ADH приносить в процес наступні переваги:
-Продуктивність процесу ADL: висока ефективність перекачування легких газів
забезпечує більш швидке спорожнення камери між етапами процесу
- Епітаксія та EUV: висока швидкість перекачування та висока швидкість потоку
Допуск відповідає найвимогливішим технічним характеристикам процесу

Сухий насос Adixen AD30K, високий вакуум, AD 30 KL
Виробник: Alcatel Adixen
Тип: AD30K. H
Рік випуску: 2008

Adixen AD100K. H
Виробник: Alcatel Adixen
Тип: AD100K. H
Рік випуску: 2008

Вакуумний насос:
Виробник: AERZEN
Тип: GM 2000 CM-C
Швидкість: 6000 об/хв
Напруга: 200-460 В
Частота (мінеральна олія/олія PFPE): 100 c/s
Максимальна продуктивність всмоктування: 4035 м3/год
Максимальна швидкість: 5920 об/хв
Потужність двигуна S 1 / S 6: 9/5,6 кВт
Рік випуску: 2008
Вага: 345 кг
Сухий насос:
Виробник: Adixen
Тип: BF ADP122
Рік випуску: 2008
Потужність 1,5 кВт
Максимальна продуктивність всмоктування: 95 м3/год
Максимальний постійний тиск на вході: 50 мбар
Максимальний тиск вихлопу: 1200 мбар
Охолоджувальна вода: 60 л/год
Частота обертання (насос): 3000-3600 об/хв
Робоча температура насоса: від 5 С до 40 С
Вхідний фланець: DN 50 ISO-KF
Випускний фланець: DN 40