Новые мощные насосы сухого хода:
Серия ADH специально разработана для
солнечной энергетики
разработан для сложных процессов на
рынках полупроводников и
светодиодов,
С производительностью всасывания
600-4500 м3/ч.
Полупроводники: высокая скорость
накачки H2
Производительность серии ADH дает
следующие преимущества в процессе:
-Производительность процесса ADL:
высокая эффективность откачки легких
газов
Обеспечивает более быстрое
опорожнение камеры между этапами
технологического процесса
- Эпитаксия и EUV: высокая скорость
откачки и высокий расход
Допуск соответствует самым строгим
технологическим спецификациям
Сухой насос Adixen AD30K, высокий вакуум, AD 30
KL
Производитель: Alcatel Adixen
Тип: AD30K. H
Год выпуска: 2008
Адиксен АД100К. H
Производитель: Alcatel Adixen
Тип: AD100K. H
Год выпуска: 2008
Вакуумный насос:
Производитель: AERZEN
Тип: GM 2000 CM-C
Скорость: 6000 об/мин
Напряжение: 200-460 В
Частота (минеральное масло/масло PFPE):
100 с/с
Максимальная производительность
всасывания: 4035 м3/ч
Максимальная скорость: 5920 C6249119
об/мин
Мощность двигателя S 1 / S 6: 9/5,6 кВт
Год выпуска: 2008
Вес: 345 кг
Сухой насос:
Производитель: Adixen
Тип: BF ADP122
Год выпуска: 2008
Мощность 1,5 кВт
Максимальная производительность
всасывания: 95 м3/ч
Максимальное непрерывное давление на
входе: 50 мбар
Максимальное давление выхлопных
газов: 1200 мбар
Охлаждающая вода: 60 л/ч
Скорость (насос): 3000-3600 об/мин
Рабочая температура насоса: от 5 С до 40
С
Входной фланец: DN 50 ISO-KF
Выпускной фланец: DN 40
Венгрия
2890 Tata 
