Nowe wydajne pompy do pracy na sucho:
Seria ADH została specjalnie zaprojektowana do instalacji
solarnych
opracowany z myślą o wymagających procesach na rynku
półprzewodników i diod LED,
O wydajności ssania 600-4500 m3/h.
Półprzewodniki: Wysoka szybkość pompowania H2
Wydajność serii ADH przynosi następujące korzyści w tym
procesie:
-Wydajność procesu ADL: wysoka wydajność pompowania lekkich
gazów
umożliwia szybsze opróżnianie komory między etapami procesu
- Epitaksja i EUV: wysoka prędkość pompowania i wysokie natężenie
przepływu
Tolerancja spełnia najbardziej wymagające specyfikacje procesu
Pompa sucha Adixen AD30K, wysoka próżnia, AD 30 KL
Producent: Alcatel Adixen
Typ: AD30K. H
Rok produkcji: 2008
Adixen AD100K. H
Producent: Alcatel Adixen
Rodzaj: AD100K. H
Rok produkcji: 2008
Pompa próżniowa:
Producent: AERZEN
Rodzaj: GM 2000 CM-C
Prędkość obrotowa: 6000 obr/min
Napięcie: 200-460 V
Częstotliwość (olej mineralny/olej PFPE): 100 c/s
Maksymalna wydajność ssania: 4035 m3/h
Prędkość maksymalna: C6149119 5920 obr/min
Moc silnika S 1 / S 6: 9/5,6 kW
Rok produkcji: 2008
Waga: 345 kg
Pompa sucha:
Producent: Adixen
Rodzaj: BF ADP122
Rok produkcji: 2008
Moc 1,5 kW
Maksymalna wydajność ssania: 95 m3/h
Maksymalne ciągłe ciśnienie wlotowe: 50 mbar
Maksymalne ciśnienie spalin: 1200 mbar
Woda chłodząca: 60 l/h
Prędkość obrotowa (pompa): 3000-3600 obr/min
Temperatura pracy pompy: od 5 C do 40 C
Kołnierz dopływowy: DN 50 ISO-KF
Kołnierz wydechowy: DN 40
Węgry
2890 Tata 
