Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h. 터보 건식 진공 펌프

새로운 강력한 건식 펌프:
ADH 시리즈는 태양광용으로 특별히 설계되었습니다.
반도체 및 LED 시장의 까다로운 공정을 위해 개발되었으며,
흡입 용량은 600-4500m3/h입니다.

반도체: 높은 H2 펌핑 속도
ADH 시리즈의 성능은 공정에 다음과 같은 이점을 제공합니다.
-ADL 공정 성능: 경질가스의 높은 펌핑 효율
공정 단계 사이에 더 빠른 챔버 비우기 가능
- 에피택시 및 EUV: 높은 펌핑 속도 및 높은 유량
공차는 가장 까다로운 공정 사양을 충족합니다.

Adixen AD30K 건식 펌프, 고진공, AD 30 KL
제조사: Alcatel Adixen
유형: AD30K. H
제조 연도: 2008

아딕센 AD100K. H
제조사: Alcatel Adixen
유형: AD100K. H
제조 연도: 2008

진공 펌프:
제조사: AERZEN
유형: GM 2000 CM-C
속도: 6000rpm
전압: 200-460V
주파수(미네랄 오일/PFPE 오일): 100c/s
최대 흡입 용량: 4035m3/h
최대 속도: 5920rpm
엔진 출력 S 1 / S 6: 9/5.6kW
제조 연도: 2008
무게: 345kg
건식 펌프:
제조사: Adixen
유형: BF ADP122
제조 연도: 2008
전력 1.5kW
최대 흡입 용량: 95m3/h
최대 연속 입구 압력: 50 mbar
최대 배기 압력: 1200mbar
냉각수: 60 l/h
속도(펌프): 3000-3600rpm
펌프의 작동 온도: 5C에서 40C까지
입구 플랜지: DN 50 ISO-KF
배기 플랜지 : DN 40