KOLZER DGK36 PVDスパッタリング装置

KOLZER DGK36インチPVDスパッタリングマシンは2017年に製造されました。この特別に構築された機械は、真空コーティングプロセスで使用され、その後、ワークピースは、摩耗や化学薬品に対する高い耐性と革新的な色を備えた「金属効果」によって特徴付けられます。PVDスパッタリングプロセスでは、作業室に配置されたターゲット(蒸着材料)から金属原子が排出され、それがワークピースの表面に転写および堆積されます。この操作では、ターゲットはプロセスガスと高電圧からなる技術的真空にさらされます。最後に、ワークピースの表面は、機械に設置されたプラズマによって洗浄され、活性化されます。このソリューションは、あらゆるタイプの表面をコーティングするための事実上無限の可能性を提供します。

すべての要求と要件を満たすために、コルツァーマグネトロンスパッタリングマシンは最高の業界標準を満たし、ダブルローディングシステムを備えているため、後続の生産段階のローディング/アンローディング作業が簡素化されます。さらに、LAUDAチラーや多数のスペアパーツなど、幅広い機器が含まれています。KOLZER DGK 36スパッタリングシステムは、耐用年数全体でわずか2873時間しか稼働せず、2580回の作業サイクルを実行しました。機械の総重量は3000kgです。

KOLZER DGK36インチPVDスパッタリングマシンの技術データ
- 作業室寸法 (直径 x 奥行) : ⌀ 1000 mm x 1300 mm
- Windows 10をベースにしたPLCがインストールされたコンピュータ形式の産業用オートメーションシステム
- PVDスパッタリング源:1個
- PVDスパッタリング発生装置:1個
- プラズマシステム:1個
- 高真空拡散ポンプ:2台
- 自動真空コントローラー
- 発電機パネルの温度と湿度の調整
- ワークの積み下ろしを容易にする水平キャリッジ:2個
- ガスフローコントローラー(マスフローコントローラー):2個
- サテライトグリップの回転式6/4ポジション:2個
- チラー:LAUDA Ultracool 0240 SP
-予備部品
- ステンレス製チャンバーカバー:2個
- 稼働時間:2873時間
- CE証明書
- 空気圧:6バール
- スペース要件(長さx幅):5710 x 3400 mm
- 電源:3x 400 V;50ヘルツ
- 機械の重量:3000キロ