PVDスパッタリング装置 KOLZER DGK36

KOLZER DGK36インチPVDスパッタリングマシンは2017年に製造さ� ��ました。この特別に構築された機械は、真空コー� �ィングプロセスで使用され、その後、ワークピース は、摩耗や化学薬品に対する高い耐性と革新的な色� ��備えた「金属効果」によって特徴付けられます。PV Dスパッタリングプロセスでは、作業室に配置された ターゲット(蒸着材料)から金属原子が排出され、そ� �がワークピースの表面に転写および堆積されます。 この操作では、ターゲットはプロセスガスと高電圧� ��らなる技術的真空にさらされます。最後に、ワー� �ピースの表面は、機械に設置されたプラズマによっ て洗浄され、活性化されます。このソリューション� ��、あらゆるタイプの表面をコーティングするため� �事実上無限の可能性を提供します。

すべての要求と要件を満たすために、コルツァーマ� ��ネトロンスパッタリングマシンは最高の業界標準� �満たし、ダブルローディングシステムを備えている ため、後続の生産段階のローディング/アンローディ ング作業が簡素化されます。さらに、LAUDAチラーや� �数のスペアパーツなど、幅広い機器が含まれていま す。KOLZER DGK 36スパッタリングシステムは、耐用年数全体でわず� �2873時間しか稼働せず、2580回の作業サイクルを実行� ��ました。機械の総重量は3000kgです。

KOLZER DGK36インチPVDスパッタリングマシンの技術データ
- 作業室寸法 (直径 x 奥行) : ⌀ 1000 mm x 1300 mm
- Windows M51251405 M51251405 10をベースにしたPLCがインストールされたコンピュ� �タ形式の産業用オートメーションシステム
- PVDスパッタリング源:1個
- PVDスパッタリング発生装置:1個
- プラズマシステム:1個
- 高真空拡散ポンプ:2台
- 自動真空コントローラー
- 発電機パネルの温度と湿度の調整
- ワークの積み下ろしを容易にする水平キャリッジ:2� �
- ガスフローコントローラー(マスフローコントローラ ー):2個
- サテライトグリップの回転式6/4ポジション:2個
- チラー:LAUDA Ultracool 0240 SP
-予備部品
- ステンレス製チャンバーカバー:2個
- 稼働時間:2873時間
- CE証明書
- 空気圧:6バール
- スペース要件(長さx幅):5710 x 3400 mm
- 電源:3x 400 V;50ヘルツ
- 機械の重量:3000キロ
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