Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h. ターボドライ真空ポンプ

新しい強力なドライランニングポンプ:
ADHシリーズは、太陽光発電用に特別に設計されています
半導体およびLED市場の要求の厳しいプロセス向けに開発され、
吸引能力は600-4500 m3/hです。

半導体:高いH2ポンプ速度
ADHシリーズの性能は、プロセスに次の利点をもたらします。
-ADLプロセス性能:軽質ガスの高い排気効率
プロセスステップ間のチャンバー空化を高速化
- エピタキシーとEUV:高排気速度と高流量
公差は最も厳しいプロセス仕様を満たしています

Adixen AD30Kドライポンプ、高真空、AD 30 KL
メーカー: アルカテル・アディクセン
タイプ:AD30K。H
製造年:2008年

アディクセンAD100K。H
メーカー: アルカテル・アディクセン
タイプ:AD100K。H
製造年:2008年

真空ポンプ：
メーカー:AERZEN
タイプ: GM 2000 CM-C
回転数:6000 rpm
電圧: 200-460 V
周波数(鉱物油/PFPE油):100 c/s
最大吸引能力:4035 m3/h
最高回転数:5920 rpm
エンジン出力 S 1 / S 6: 9/5.6 kW
製造年:2008年
重さ: 345 kg
ドライポンプ:
メーカー:アディクセン
タイプ: BF ADP122
製造年:2008年
パワー 1.5 kW
最大吸引能力:95 m3/h
最大連続入口圧力:50 mbar
最大排気圧力:1200 mbar
冷却水:60 l/h
速度(ポンプ):3000-3600 rpm
ポンプの動作温度:5°Cから40°Cまで
インレットフランジDN 50 ISO-KF
排気フランジ:DN 40