Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h. 涡轮干式真空泵

新型强力干式泵：
ADH 系列专为太阳能设计
专为半导体和 LED 市场的苛刻工艺而开发，
吸力为600-4500 m3/h。

半导体：高 H2 泵送速率
ADH系列的性能为工艺带来了以下优势：
-ADL工艺性能：轻质气体的高泵送效率
在工艺步骤之间实现更快的腔室排空
- 外延和 EUV：高抽速和高流速
公差满足最苛刻的工艺规范

Adixen AD30K 干式泵，高真空，AD 30 KL
制造商：阿尔卡特 Adixen
型号：AD30K。H
制造年份：2008

艾迪克森 AD100K。H
制造商：阿尔卡特 Adixen
型号：AD100K。H
制造年份：2008

真空泵：
制造商：AERZEN
型号：GM 2000 CM-C
转速：6000转/分
电压：200-460 V
频率（矿物油/PFPE 油）：100 c/s
最大吸力：4035 m3/h
最高转速：5920转/分
发动机功率 S 1 / S 6：9/5.6 kW
制造年份：2008
重量：345公斤
干泵：
制造商：Adixen
型号：BF ADP122
制造年份：2008
功率 1.5 kW
最大吸力：95 m3/h
最大连续入口压力：50 mbar
最大排气压力：1200 mbar
冷却水：60 升/小时
转速（泵）：3000-3600转/分
泵的工作温度：5 C 至 40 C
入口法兰：DN 50 ISO-KF
排气法兰：DN 40