Les nouvelles pompes puissantes à sec :
La série ADH est spécialement conçue pour l’énergie solaire
développés pour les processus exigeants des marchés des
semi-conducteurs et des LED,
Avec une capacité d’aspiration de 600-4500 m3/h.
Semi-conducteurs : Taux de pompage élevé de H2
Les performances de la série ADH apportent les avantages suivants au
processus :
-Performance du procédé ADL : efficacité de pompage élevée des
gaz légers
Permet une vidange plus rapide de la chambre entre les étapes du
processus
- Epitaxie et EUV : vitesse de pompage élevée et débit élevé
La tolérance répond aux spécifications de processus les plus
exigeantes
Pompe sèche Adixen AD30K, vide poussé, AD 30 KL
Fabricant : Alcatel Adixen
Type : AD30K. H
Année de fabrication : 2008
Adixen AD100K. H
Fabricant : Alcatel Adixen
Type : AD100K. H
Année de fabrication : 2008
Pompe à vide :
Fabricant : AERZEN
Type : GM 2000 CM-C
Vitesse : 6000 tr/min
Tension : 200-460 V
Fréquence (huile minérale/huile PFPE) : 100 c/s
Capacité d’aspiration maximale : 4035 m3/h
Vitesse maximale : 5920 tr/min
Puissance du moteur S 1 C6149119 / S 6 : 9/5,6 kW
Année de fabrication : 2008
Poids : 345 kg
Pompe sèche :
Fabricant : Adixen
Type : BF ADP122
Année de fabrication : 2008
Puissance 1,5 kW
Capacité d’aspiration maximale : 95 m3/h
Pression d’entrée continue maximale : 50 mbar
Pression d’échappement maximale : 1200 mbar
Eau de refroidissement : 60 l/h
Vitesse (pompe) : 3000-3600 tr/min
Température de fonctionnement de la pompe : de 5 C à 40 C
Bride d’entrée : DN 50 ISO-KF
Bride d’échappement : DN 40
Hongrie
2890 Tata 
