Las nuevas y potentes bombas de funcionamiento en seco:
La serie ADH está especialmente diseñada para la energía solar
desarrollado para los exigentes procesos de los mercados de
semiconductores y LED,
Con una capacidad de aspiración de 600-4500 m3/h.
Semiconductores: Alta tasa de bombeo de H2
El rendimiento de la serie ADH aporta las siguientes ventajas al
proceso:
-Rendimiento del proceso ADL: alta eficiencia de bombeo de gases
ligeros
permite un vaciado más rápido de la cámara entre los pasos del
proceso
- Epitaxia y EUV: alta velocidad de bombeo y alto caudal
La tolerancia cumple con las especificaciones de proceso más
exigentes
Bomba seca Adixen AD30K, alto vacío, AD 30 KL
Fabricante: Alcatel Adixen
Tipo: AD30K. H
Año de fabricación: 2008
Adixen AD100K. H
Fabricante: Alcatel Adixen
Tipo: AD100K. H
Año de fabricación: 2008
Bomba de vacío:
Fabricante: AERZEN
Tipo: GM 2000 CM-C
Velocidad: 6000 rpm
Voltaje: 200-460 V
Frecuencia (aceite mineral/aceite PFPE): 100 c/s
Capacidad máxima de aspiración: 4035 m3/h
Velocidad máxima: 5920 C51249119 rpm
Potencia del motor S 1 / S 6: 9/5,6 kW
Año de fabricación: 2008
Peso: 345 kg
Bomba seca:
Fabricante: Adixen
Tipo: BF ADP122
Año de fabricación: 2008
Potencia 1,5 kW
Capacidad máxima de aspiración: 95 m3/h
Presión máxima de entrada continua: 50 mbar
Presión máxima de escape: 1200 mbar
Agua de refrigeración: 60 l/h
Velocidad (bomba): 3000-3600 rpm
Temperatura de funcionamiento de la bomba: de 5 C a 40 C
Brida de entrada: DN 50 ISO-KF
Brida de escape: DN 40
Hungría
2890 Tata 
